特許
J-GLOBAL ID：200903004846441043
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189846
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034926
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 フォトマスクに設けられたパターンを介して、紫外線を、感光性材が表面にコーティングされた基板に照射する、露光装置において、ランプから照射される紫外線の強度を均一にするとともに、特に照射方向を照射面全面にわたり均一にする。【構成】 紫外線を与えるランプ2とフォトマスク3との間に、紫外線を拡散させる拡散板8を設ける。紫外線が拡散板8を通過するとき、あらゆる方向に放射される。
請求項（抜粋）：
フォトマスクに設けられたパターンを介して、紫外線を、感光性材が表面にコーティングされた基板に照射する、露光装置において、前記紫外線を与える光源と前記フォトマスクとの間に、紫外線を拡散させる拡散板を設けたことを特徴とする、露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501
, H05K 3/00
