特許
J-GLOBAL ID：200903004849953207
スライドボート法による結晶成長方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-326045
公開番号（公開出願番号）：特開平8-183689
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 高価で作業性の悪いグローブボックスや多数のガスボンベ等を用いることなく、酸化膜による悪影響を本質的に回避することができ、これにより酸化膜を形成しやすい低融点材料を含む結晶を安定して効率的に成長させることができるスライドボート法による結晶成長方法を提供する。【構成】 下端に穴を有するロート状ガラス容器23に、前記穴よりも最大寸法が大きくかつ酸化膜を形成しやすい低融点材料24を収容し、還元雰囲気中で材料を加熱して溶解させ、表面の酸化膜をガラス容器に付着させ、材料の自重により容器下端部に位置する酸化膜に亀裂を発生させ、これにより酸化していない低融点材料を容器の穴から下方に落下させる。
請求項（抜粋）：
下端に穴を有する漏斗状ガラス容器に、前記穴よりも最大寸法が大きくかつ酸化膜を形成しやすい低融点材料を収容し、還元雰囲気中で前記材料を加熱して溶解させ、表面の酸化膜を前記ガラス容器に付着させ、材料の自重により容器下端部に位置する酸化膜に亀裂を発生させ、これにより酸化していない低融点材料を前記容器の穴から下方に落下させる、ことを特徴とするスライドボート法による結晶成長方法。
IPC (3件)：
C30B 19/00
, C30B 29/40 501
, H01L 21/208
