真空排気装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189972
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129384
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：

【要約】【目的】低消費動力、低騒音で低い到達真空圧の得られる真空ポンプを提供することを目的とする。【構成】排気量の大きな第1のポンプと、排気量の小さな第2のポンプをシリーズに連結し、重量流量の大きな気体を吸引するときは上記第1のポンプをフル稼働させ、また吸気側が十分に低い真空圧に到達したときは、上記第1のポンプの排気孔を閉じ、第1のポンプの排気側圧力を下げることによって、消費動力を下げ、低騒音化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

吸気孔に近い方に設けられた上流側ポンプ部分と、吐出孔に近い方に設けられ、前記上流側ポンプ部分よりも排気流量の小さな下流側ポンプ部分より構成されることを特徴とする真空排気装置。

IPC (3件)：

F04C 29/06 , F04C 25/02 , H01L 21/302

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-277698
特開平4-203280
特開平3-111690

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審査官引用 (15件)

特開平4-203280
特開平1-277698
特開平1-277698

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