特許
J-GLOBAL ID：200903004855478740
ラッピング装置およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
加藤 恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-330500
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171760
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目 的】 インターナルギアおよびアウターギアを安価にすると共に、ラッピングキャリアが回転中に浮き上がったりすることをなくす。【構 成】 ラッピング装置は、駆動軸の回転によってラッピングキャリアを回転させる板状インターナルギアと、前記駆動軸に前記板状インターナルギアと同心的に固定され、ラッピングキャリアの歯車との噛み合いを案内する板状インターナルギア側上下部ガイドと、前記板状インターナルギアと共にラッピングキャリアを自転させながら公転させる板状アウターギアと、当該板状アウターギアと同心的で、前記ラッピングキャリアの歯車と板状アウターギアとの噛み合いを案内する板状アウターギア側上下部ガイドとから構成される。そして、上記ギアおよびガイドは、プレス金型によって成形できる。
請求項（抜粋）：
内部に被加工物を挿入する透孔と、外周部に成形された歯車とからなるラッピングキャリアを、研磨剤を流入させながら定盤上で自転と公転とをさせることによって、被加工物を研磨するラッピング装置において、駆動軸の回転によってラッピングキャリアを回転させる板状インターナルギアと、前記板状インターナルギアと共動してラッピングキャリアを自転させながら公転させる板状アウターギアと、前記駆動軸に前記板状インターナルギアと同心的に固定され、ラッピングキャリアの歯車との噛み合いを案内するように上下から挟持した板状インターナルギア側ガイドと、前記板状アウターギアと同心的で、前記ラッピングキャリアの歯車と板状アウターギアとの噛み合いを案内するように上下から挟持した板状アウターギア側ガイドと、を備えたことを特徴とするラッピング装置。
引用特許：
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