特許
J-GLOBAL ID：200903004861936539
ネガ型感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074716
公開番号（公開出願番号）：特開平10-254135
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【目的】 通常の濃度のアルカリ現像液に適用でき、かつ通常のライン・アンド・スペースパターンにおいて、高解像度で矩形のレジストパターンを形成することができ、感度、現像性、寸法忠実度等にも優れるとともに、特に孤立ラインパターンにおける解像度およびパターン形状が優れた化学増幅型ネガ型レジストとして好適なネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が70〜95モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(ロ)オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物からなる架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有する。
請求項（抜粋）：
(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が70〜95モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(ロ)オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物からなる架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 601
, C08L 25/18
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/038 601
, C08L 25/18
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
