特許

J-GLOBAL ID：200903004873432358

静電チャック

発明者： 坪倉 理 ,  三嶋 和彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368470
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170872
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】吸着特性を低下させることなく被吸着物の離脱性に優れ、かつパーティクルの発生の少ない静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック1の設置面3を、誘電体層2を形成する絶縁性セラミックスと導電性セラミック膜7とから形成し、上記設置面3の平面度を5μm以下とする。

請求項１：

絶縁性セラミックスからなる誘電体層の上面に凹部を形成し、該凹部を体積固有抵抗値が10Ω・cm以下の導電性セラミック膜で埋め、上記誘電体層の上面と上記導電性セラミック膜の上面とで形成される平面を、被吸着物を載せる設置面とし、該設置面の平面度を5μm以下とするとともに、上記誘電体層の下面には静電吸着用電極を形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  C04B 41/87 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458 ,  B23Q 3/15

FI (6件)：

H01L 21/68 R ,  C04B 41/87 C ,  C04B 41/87 E ,  C23C 14/50 A ,  C23C 16/458 ,  B23Q 3/15 D

Fターム (16件)：

3C016GA10 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029JA05 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031HA19 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32