特許

J-GLOBAL ID：200903004875924436

グロー放電発光分光分析装置

発明者： 清水 良祐
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172799
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004546
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 波長の影響を受けることなく、所望の試料分析を精度よく行うことができるグロー放電発光分光分析装置を提供すること。【解決手段】 グロー放電管1内において、試料6に陽イオンを衝突させて試料表面をスパッタし、前記陽イオンまたは電子によって励起された原子から発生する光13を分光器14に導き、そのとき得られる光の測定強度に基づいて分析を行うグロー放電発光分光分析装置において、前記グロー放電管1と分光器14との間の光路18中に波長依存性のないスペーシャルフィルタ20を設け、限られた微小な面積において生じている光を分光器14に導入するようにした。

請求項（抜粋）：

グロー放電管内において、試料に陽イオンを衝突させて試料表面をスパッタし、前記陽イオンまたは電子によって励起された原子から発生する光を分光器に導き、そのとき得られる光の測定強度に基づいて分析を行うグロー放電発光分光分析装置において、前記グロー放電管と分光器との間の光路中に波長依存性のないスペーシャルフィルタを設け、限られた微小な面積において生じている光を分光器に導入するようにしたことを特徴とするグロー放電発光分光分析装置。

Fターム (9件)：

2G043AA01 ,  2G043EA09 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043GB17 ,  2G043HA02 ,  2G043HA03 ,  2G043HA15 ,  2G043JA01