特許

J-GLOBAL ID：200903004884067872

液晶表示装置の製造方法

発明者： 的場 正和
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179037
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356363
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 MIM型のアクティブマトリクス型液晶表示装置で、2端子非線形抵抗素子の下部電極と上部電極とを同種の金属膜を用いて形成し、上部電極をエッチング形成する際に生じる問題を、コストアップを避けて解決する。【解決手段】 非線形抵抗素子16の上部電極15は、下部電極13となる第1の金属膜の表面を陽極酸化して形成する絶縁膜14の上に同種の第2の金属膜をスパッタリング法で形成し、ウエットエッチング法でパターニングして形成する。フッ酸と硝酸とを主成分とする液を用いたウエットエッチング法では、絶縁膜14とのエッチング選択比を充分にとることができ、コストアップとなる保護絶縁膜等を形成する必要はない。また後工程用金属マーカも、第1の金属膜で形成した金属マーカの上に上部電極15と同じ第2の金属膜を重合わせて形成したり、第2の金属膜のみで形成することができる。

請求項（抜粋）：

一対の透明基板が液晶層を挟んで対向し、一方の透明基板は行または列に平行して配列される複数の透明電極を有し、他方の透明基板は、信号電極である金属配線と、マトリクス状に配置される画素電極と、それぞれの画素電極と信号電極との間に直列に接続される非線形抵抗素子とを有するアクティブマトリクス型の液晶表示装置の製造方法において、非線形抵抗素子を、下部電極-絶縁層-上部電極の3層構造として、該下部電極と該上部電極とを同種の金属膜で形成し、該上部電極を、ウエットエッチングによってパターン形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1365 ,  H01L 21/3213

FI (2件)：

G02F 1/136 510 ,  H01L 21/88 C

Fターム (22件)：

2H092HA06 ,  2H092JA03 ,  2H092KA18 ,  2H092LA02 ,  2H092MA05 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA24 ,  2H092NA01 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA06 ,  5F033GG04 ,  5F033HH21 ,  5F033HH38 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ20 ,  5F033RR22 ,  5F033VV10 ,  5F033VV15