特許

J-GLOBAL ID：200903004889168260

顕微鏡のステージ装置

発明者： 小川 宏人 ,  岡 浩太郎
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-205445
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056093
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は顕微鏡のステージ装置に関し、XY軸可動ステージの回動及び傾斜を可能とすることを目的とする。【構成】 XY軸可動ステージ11の下側に、回転テーブル12を設ける。回転テーブル12を、筒状レール25,26によって、基台13に対して回動可能とし、減速ギヤ機構を利用した回転テーブル回動機構14によって、回動しうるよう構成する。XY軸可動ステージ11は、回転テーブル12と一体的に回動する。回転テーブル12に、上方への突出量を調整しうる三つの支持ピン部材32,33,34を設ける。XY軸可動ステージ11を支持ピン部材32,33,34により三点支持する。支持ピン部材32,33,34を適宜操作することによりXY軸可動ステージ11が傾斜せしめられるよう構成する。

請求項（抜粋）：

試料が載置されるXY軸可動ステージ(11)を支持する回転可能な回転テーブル(12)を設けると共に、該回転テーブルを回動させる回転テーブル回動機構(14)を設けた構成としたことを特徴とする顕微鏡のステージ装置。