特許
J-GLOBAL ID:200903004898695043

熱可塑性ポリウレタン発泡体およびその製造方法並びに該発泡体からなる研磨パッド

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-372336
公開番号(公開出願番号):特開2002-371154
出願日: 2001年12月06日
公開日(公表日): 2002年12月26日
要約:
【要約】【課題】 均一な発泡構造を有するポリウレタン発泡体であって、被研磨面の平坦性および平坦化効率の向上が達成でき、かつ使用時間を従来のものより延長することができる、研磨パッドとして有用に使用することができるポリウレタン発泡体を提供する。【解決手段】 高分子ポリオール、有機ジイソシアネートおよび鎖伸長剤を反応させて得られる、イソシアネート基由来の窒素原子の含有率が6重量%以上であり、かつ50°Cにおける動的粘弾性率E’50が5×109dyn/cm2以上である熱可塑性ポリウレタンからなり、密度が0.5〜1.0g/cm3、気泡サイズが5〜200μm、硬度(JIS-C硬度)が90以上であるポリウレタン発泡体。
請求項(抜粋):
高分子ジオール、有機ジイソシアネートおよび鎖伸長剤を反応させて得られる、イソシアネート基由来の窒素原子の含有率が6重量%以上であり、かつ50°Cにおける動的粘弾性率E’50が5×109dyn/cm2以上である熱可塑性ポリウレタンからなり、密度が0.5〜1.0g/cm3、気泡サイズが5〜200μm、硬度(JIS-C硬度)が90以上であるポリウレタン発泡体。
IPC (9件):
C08J 9/12 CFF ,  B24B 37/00 ,  B29C 45/00 ,  B29C 47/00 ,  H01L 21/304 622 ,  B29K 75:00 ,  B29K105:04 ,  B29L 31:58 ,  C08L 75:04
FI (9件):
C08J 9/12 CFF ,  B24B 37/00 C ,  B29C 45/00 ,  B29C 47/00 ,  H01L 21/304 622 F ,  B29K 75:00 ,  B29K105:04 ,  B29L 31:58 ,  C08L 75:04
Fターム (42件):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA17 ,  4F074AA78 ,  4F074BA32 ,  4F074BA33 ,  4F074CA22 ,  4F074CA23 ,  4F074CA26 ,  4F074CC04X ,  4F074CC22X ,  4F074CC32X ,  4F074CC34X ,  4F074DA02 ,  4F074DA03 ,  4F074DA56 ,  4F206AA31 ,  4F206AB02 ,  4F206AG20 ,  4F206AH81 ,  4F206AR024 ,  4F206AR064 ,  4F206JA04 ,  4F206JF04 ,  4F206JL02 ,  4F207AA31 ,  4F207AB02 ,  4F207AG20 ,  4F207AH81 ,  4F207AR02 ,  4F207AR06 ,  4F207KA01 ,  4F207KA07 ,  4F207KA11 ,  4F207KA20 ,  4F207KF03 ,  4F207KF04 ,  4F207KK13 ,  4F207KL84
引用特許:
審査官引用 (1件)

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