特許
J-GLOBAL ID：200903004899306121
シート状研磨部材およびウエーハ研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342941
公開番号（公開出願番号）：特開平7-164308
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年06月27日
要約：
【要約】【目的】 ウエーハに周辺ダレなどが発生することなく表面基準研磨を行うことができる研磨装置を提供する。【構成】 クロロプレンゴムに微細な独立気泡を含有させたシート状発泡体2と、ガラス繊維入りエポキシ樹脂の薄板からなる可撓性板体3と、ベロアタイプの研磨布4とをこの順に接着積層してなるシート状研磨部材5を、シート状発泡体を介して研磨定盤1の表面に接着する。肉厚バラツキのあるシリコン基板上に均一厚さで形成した酸化膜を、その酸化膜厚さの均一性を維持しつつウエーハ表面の酸化膜突起を能率よく平坦化する研磨が可能となる。
請求項（抜粋）：
研磨定盤上に設けられる研磨部材において、軟質ゴム状弾性体によるシート状発泡体と研磨布との間に硬質薄板からなる可撓性板体を接着積層したことを特徴とするシート状研磨部材。
IPC (5件)：
B24B 37/00
, B24D 11/00
, B32B 5/18 101
, B32B 25/04
, H01L 21/304 321
