特許

J-GLOBAL ID：200903004902347640

並列演算処理の熱流体解析方法

発明者： 平沢 茂樹 ,  斉藤 洋子 ,  佐々木 直哉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-249745
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097518
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】温度,速度,形状変化を並列演算処理の電子計算機を用いて解析する場合に、分子数が大きい場合でも計算時間を短くするような半導体製造プロセスシミュレーションなどに用いる分子動力学法の熱流体解析方法を提供する。【解決手段】計算対象4の中に複数の小さな部分領域5を設け、部分領域5で分子動力学法による詳細な解析を行い、その他の領域6で比例的な推算計算を行い計算量を低減する。あるいは、計算対象4のうち連続体として扱うことができない領域11で分子動力学法による解析を行い、その他の領域12で複数の分子の平均的な時間変化をマクロ解析により計算し、計算量を低減する。

請求項（抜粋）：

固体や液体や気体の多数の分子を計算対象とし、その計算対象内の温度分布,速度分布,形状の時間変化を、複数の演算処理装置を有する電子計算機を用いて数値解析する解析方法において、計算対象の中に複数の部分領域を設け、上記部分領域ごとに上記演算処理装置を対応させ、上記部分領域に含まれる分子については分子1個ごとに詳細な時間変化計算を行い、上記部分領域以外の領域に含まれる分子については上記部分領域の詳細な計算結果から推算することにより計算することを特徴とする並列演算処理の熱流体解析方法。

IPC (4件)：

G06F 17/13 ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/3205 ,  G06F 17/00

FI (4件)：

G06F 15/328 ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/88 Z ,  G06F 15/20 D