コルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡部正夫 (外13名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356701
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】潮解性、へき開性が低く、高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材を提供することを目的とする。また、限りなく0に近い複屈折率を有する真空紫外領域用光学部材を提供することを目的とする。さらに、高い耐久性と薄膜特有の波長特性を実現できる光学部材用コーティング材を提供する。【解決手段】式:LiM<SB>x</SB>N<SB>(1-x)</SB>AlF<SB>6</SB> (式中、MおよびNは、Ca、Sr、Mg、BaおよびBeからそれぞれ独立して選択され、また、xは0<x<1の関係を満たす。)で表されるコルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材、および、このフッ化物混晶からなる光学部材用コーティング材。

請求項（抜粋）：

式:LiM<SB>x</SB>N<SB>(1-x)</SB>AlF<SB>6</SB> (式中、MおよびNは、Ca、Sr、Mg、BaおよびBeからそれぞれ独立して選択され、また、xは0<x<1の関係を満たす。)で表されるコルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材。

IPC (4件)：

G02B 1/02 , C01F 7/54 , C30B 29/12 , H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 1/02 , C01F 7/54 , C30B 29/12 , H01L 21/30 515 D

Fターム (18件)：

4G076AA05 , 4G076AA18 , 4G076AB04 , 4G076BA17 , 4G076BC08 , 4G076CA01 , 4G076CA34 , 4G076CA40 , 4G076DA11 , 4G077BE02 , 4G077CF10 , 4G077EC09 , 4G077HA01 , 5F046BA03 , 5F046CA04 , 5F046CA08 , 5F046CB12 , 5F046CB22

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