特許
J-GLOBAL ID：200903004909972796
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-036692
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021036
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 処理槽の破損等の事故が発生した場合においても、トラップタンク内の温度が異常に上昇することを未然に防止してトラップタンク内から工場の廃液系に高温の薬液が流れ出ることを防止することができ、従来に較べて安全性の向上を図ることのできる洗浄装置を提供する。【構成】 トラップタンク17には、内部の廃液の温度を検知するための温度検知センサ28が設けられており、この温度検知センサ28の温度測定信号は、温度制御装置29に入力される。温度制御装置29は、トラップタンク17に希釈水を供給するための希釈水供給配管30に介挿された流量調節弁31を、温度検知センサ28からの温度測定信号に応じて開閉し、トラップタンク17内の温度が、予め設定された温度以上に上昇しないように制御を行う。
請求項（抜粋）：
処理液を貯溜する複数の処理槽と、被洗浄物を搬送して前記処理槽内の処理液に浸漬する搬送機構と、前記処理槽からの廃液を希釈するための希釈液を供給する希釈液供給機構と、希釈された廃液を貯溜するための廃液溜めとを具備した洗浄装置において、前記廃液溜めに、該廃液溜め内の廃液の温度を検知する温度測定手段を設け、この温度測定手段の温度測定結果に応じて前記希釈液供給機構の希釈液供給量を制御するよう構成したことを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/14
