特許

J-GLOBAL ID：200903004913834527

静電アクチュエータ及びこれを用いたインチワーム

発明者： 壁井 信之 ,  土屋 喜一 ,  村山 知寛
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-281195
公開番号（公開出願番号）：特開平6-141568
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【構成】 正電極層と負電極層とが絶縁層を隔てて積層された巻取形状の構造体と、前記各電極に電圧を供給する電源と、前記各電極と前記電源との電気的接続を切換動作するスイッチとを具備することを特徴とする静電アクチュエータである。【効果】 比較的広い範囲に亘って高分解能で微小変位可能なアクチュエータ素子を、従来の加工技術を用いて容易に製作できる。

請求項（抜粋）：

正電極層と負電極層とが絶縁層を隔てて積層された巻取形状の構造体と、前記各電極に電圧を供給する電源と、前記各電極と前記電源との電気的接続を切換動作するスイッチとを具備することを特徴とする静電アクチュエータ。