特許

J-GLOBAL ID：200903004914202400

ガリウムイオン源及びその製造方法

発明者： 工藤 直弥 ,  角田 勝義 ,  照井 良典
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-178317
公開番号（公開出願番号）：特開平11-025874
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】室温下で長時間動作可能なガリウムイオン源を提供する。【解決手段】タングステン電極の少なくとも側面をアルカリ性のフェロシアン化カリウム水溶液でエッチングして、タングステン電極の側面部から検出されるタングステンとガリウムのそれぞれの規格化されたX線強度の比が2.0以下であるガリウムイオン源。

請求項（抜粋）：

イオン化すべきガリウムを貯蔵する貯蔵部と該貯蔵部からガリウムが供給されるタングステン電極とを有するガリウムイオン源であって、該タングステン電極の側面部から検出されるタングステンとガリウムのそれぞれの規格化されたX線強度の比が2.0以下であることを特徴とするガリウムイオン源。

IPC (3件)：

H01J 27/26 ,  C23F 1/38 ,  H01J 37/08

FI (3件)：

H01J 27/26 ,  C23F 1/38 ,  H01J 37/08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-182038