特許
J-GLOBAL ID：200903004915069410
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-013638
公開番号（公開出願番号）：特開平7-219636
出願日： 1994年02月07日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 ステージの熱伸縮に対して制御精度を損なうことなく、位置、回転量を簡単に制御できるステージ装置を提供すること。【構成】 ベース15上にステージ16が移動可能かつ回転可能に支持されている。ステージ16にはアーム41,43,42が取り付けられており、アームは駆動機素21,22,23により駆動される。各軸の駆動機素21,22,23はステージ16の回転中心となる基準軸から等距離の位置に設けられている。ステージ16をX方向に移動させる場合には、駆動機素21,22によりアーム41,42を等しい量移動させる。また、Y方向に移動させる場合には、駆動機素23によりアーム43を移動させる。さらに、ステージ16を回転させる場合には、駆動機素21,22,23により、アーム41,42,43をステージを回転させる方向に等しい量移動させる。
請求項（抜粋）：
少なくとも3つの駆動機素を備え、該駆動機素により、基準軸に対して垂直な平面内で、ステージを直線移動、および/または、上記基準軸を中心に回転させるステージ装置において、上記基準軸を通る第1の平面上に、ステージに対してそれぞれ第1および第2の作用点を持つ第1および第2の駆動機素を設け、また、基準軸を通り、第1の平面に交わる第2の平面上に、ステージに対して第3の作用点を持つ第3の駆動機素を設けたことを特徴とするステージ装置。
IPC (8件)：
G05D 3/00
, B23Q 1/48
, F16H 25/20
, G02B 7/00
, G03B 27/53
, G03F 9/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
H01L 21/30 503 A
, H01L 21/30 515 G
, B23Q 1/14
