可撓性薄膜光電変換素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108617
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232437
出願日： 1993年05月11日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】プラスチックフィルムを基板とする可撓性薄膜光電変換素子の光電変換層への入射光の増加、直列抵抗の減少および耐久性の向上を図る。【構成】基板の光入射側の面をSiN膜あるいはSiOx 膜で覆うことにより、表面にプラスチックが露出している場合にくらべて光の反射率が低下して変換効率が上昇し、また紫外線を吸収することによって紫外線によるフィルムの変質を防止し、さらに湿気の侵入を抑える。また、基板と透明電極の間にSiN膜あるいはSiOx 膜を介在させることにより、プラスチックフィルムから透明電極へ拡散する不純物をブロックし、その不純物による透明電極のシート抵抗の上昇を抑える。

請求項（抜粋）：

透光性で絶縁性のプラスチックフィルム上に透明電極、アモルファスシリコン光電変換層、裏面電極を順次積層してなるものにおいて、プラスチックフィルムの反透明電極側の面がプラスチックフィルムの屈折率より低い屈折率を有するけい素化合物膜によって覆われたことを特徴とする可撓性薄膜光電変換素子。

FI (2件)：

H01L 31/04 F , H01L 31/04 M

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