特許
J-GLOBAL ID:200903004920732977

複屈折測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 縣 浩介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-079067
公開番号(公開出願番号):特開平6-281567
出願日: 1992年02月29日
公開日(公表日): 1994年10月07日
要約:
【要約】【目的】 試料の3軸方向の屈折率測定とか、位相差がπ近辺になる場合のレターデーションの測定が簡単にできる複屈折計を提供することを目的とする。【構成】 試料保持台を試料保持基板に回転可能に設置し、該試料保持基板を試料保持台の表面に沿う一直線を中心軸にして傾動可能に屈折計本体に保持し,上記試料保持台を回転駆動する回転駆動手段及び上記試料保持台を傾動駆動させる傾動駆動手段を一定角度づつ回転させながら測定動作を行う制御手段を設け、且つ、上記試料保持台の上方に1/4波長板を屈折計の光軸上に出入できるように設けた複屈折測定装置。
請求項(抜粋):
試料を保持する台を試料保持基板に回転可能に設置し、同試料保持台をモータ等で回転駆動させる手段を試料保持基板上に設け、試料保持基板を試料保持台の表面に沿う一直線を中心軸にして傾動可能に屈折計本体に保持し,上記試料保持台をモータ等で傾動駆動させる手段を設け、上記回転駆動手段及び傾動駆動手段を一定角度づつ回転させながら測定動作を行う制御手段を設けたことを特徴とする複屈折測定装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-082345
  • 特開平1-167603
  • 特開昭63-108236

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