特許
J-GLOBAL ID:200903004922467880

電子顕微鏡等の試料ホルダ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-005828
公開番号(公開出願番号):特開平6-318445
出願日: 1993年01月18日
公開日(公表日): 1994年11月15日
要約:
【要約】【目的】 簡単な構成で、かつ試料ダメージを少なくして生に近い状態で試料観察することを可能にする。【構成】 試料台に載置され、薄膜のシール材が貼られた試料を挟み込む一対のシートメッシュと、該シートメッシュの縁をシールするシール部材とを備え、前記シートメッシュ間を電子顕微鏡の真空と隔離して試料を水雰囲気、空気雰囲気の状態で観察することを可能にしたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
試料台に載置され、薄膜のシール材が貼られた試料を挟み込む一対のシートメッシュと、該シートメッシュの縁をシールするシール部材とを備え、前記シートメッシュ間を真空と隔離するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡等の試料ホルダ。
IPC (2件):
H01J 37/20 ,  H01J 37/26
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭47-024961

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