特許
J-GLOBAL ID：200903004928851401
基板保持盤
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070339
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235151
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 基板との間に異物を挟みこむ危険性が少いうえに吸着力の不均一によって基板の平坦度を損なうことのない基板保持盤を実現する。【構成】 本体1はその外周に沿って互に間隔をおいて配設された3個のリング状支持面2〜4からなる第1の支持面を有し、該第1の支持面の内側の凹所1aには点在する複数の斑状支持面5からなる第2の支持面が設けられる。前記リング状支持面2〜4の間の各環状溝7,8および第1の支持面の内側の凹所1aは、それぞれ貫通孔7a,8aおよび5aを介して公知の排気手段に接続され、本体1に載置されたウエハ(図示せず)を吸着する。リング状支持面2〜4はウエハの外周部分の平坦度を損なうことなくこれを支持し、各斑状支持面5は小面積であるためにウエハとの間に異物を挟みこむ可能性が少い。
請求項（抜粋）：
平板状の本体と、前記本体の外周縁に沿って互に間隔をおいて配設された少くとも2個のリング状支持面からなる第1の支持面と、前記第1の支持面の内側の凹所に点在する小面積の複数の斑状支持面からなる第2の支持面からなり、各リング状支持面の間の環状溝および前記第1の支持面の内側の凹所に吸着力を作用させるように構成したことを特徴とする基板保持盤。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65G 49/07
, H01L 21/027
