特許

J-GLOBAL ID：200903004934817045

ウェーハフレームカセット

発明者： 鎌田 俊行
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 藤本 英介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082241
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277603
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 自動化に適し、保管、管理及びそのスペース確保の必要がなく、スライド壁を円滑、かつ良好に動作させ得るウェーハフレームカセットを提供する。【解決手段】 対向内面にフレーム用の整列支持溝3が上下に並設される一対の側壁1と、一対の側壁1の上部間に載設されるハンドルと、作業時に一対の側壁1内に対するフレームの出し入れを可能とし、搬送時にフレームの出し入れを規制するフレーム保持機構9と、操作機構15とを備える。フレーム保持機構9を、側壁1の一部を構成し、作業時には基準位置Sに配置されて側壁1の整列支持溝3に整列支持溝3Aを連続させ、搬送時には側壁1の整列支持溝3から整列支持溝3Aをずらす一対のスライド壁10と、スライド壁10の上部に成形される被操作材11と、スライド壁10を弾性支持し、スライド壁10を規制位置Mから基準位置Sに復帰させる複数の弾性体12とから構成する。また、操作機構15を、ハンドルに弾発支持されるプランジャと、プランジャの往動時に各被操作材11を押し下げる一対の操作バー19とから構成する。

請求項（抜粋）：

ウェーハの粘着保持用のフレームを収納するウェーハフレームカセットであって、対向内面に上記フレーム用の整列支持部が上下に並べ設けられる一対の側壁と、この一対の側壁の上部間に設けられるハンドルと、作業時には該一対の側壁内に対する上記フレームの出し入れを可能とし、搬送時には該一対の側壁内に対する該フレームの出し入れを規制するフレーム保持機構と、このフレーム保持機構用の操作機構とを含み、該フレーム保持機構を、上記一対の側壁の一部を構成し、上記作業時には基準位置に配置されて残部側壁の上記整列支持部に整列支持部を連続させ、上記搬送時には該基準位置から該規制位置に下降して該残部側壁の整列支持部から該整列支持部をずらすスライド壁と、このスライド壁の上部に設けられる被操作材と、該スライド壁を弾性的に支持し、スライド壁を規制位置から基準位置に上昇復帰させる弾性体とから構成し、上記操作機構を、上記ハンドルに支持されるプランジャと、このプランジャに設けられ、プランジャの往動時に被操作材の上面に接触して押し下げる操作バーとから構成したことを特徴とするウェーハフレームカセット。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 85/38 R ,  H01L 21/78 F

Fターム (18件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096DA05 ,  3E096DA12 ,  3E096EA02Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031DA13 ,  5F031EA02 ,  5F031EA06 ,  5F031FA01