特許

J-GLOBAL ID：200903004935313245

重ね合わせ測定方法及び重ね合わせ測定装置

発明者： 牛山 文明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-259036
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091204
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】重ね合わせ測定マークの断面構造が左右非対称である事に起因する測定誤差を、測定装置の光学系を変更せずに補正し、重ね合わせずれ量の測定精度を高精度化する。【解決手段】半導体ウエハー11を支持するステージ10は、ステージ傾斜駆動部18により傾斜可能で、前記ウエハー11上の重ね合わせ測定マークに対する照明光の照射角度を変えられる。照射角度をZ方向(0度)、及び、±θ度に固定し、CCDカメラ14で前記マーク画像を取り込み、得られた画像信号を画像処理演算部15で処理して重ね合わせずれ量を求める。この時、前記±θ度のマーク画像に含まれる、前記マーク段差部に生じる影の成分を利用して、前記マークの断面構造が左右非対称である事に起因する測定誤差を補正する。

請求項（抜粋）：

移動可能なステージ上に支持された被処理体上の重ね合わせ測定マークに、照明光を照射し、前記マークの画像を取り込み、その画像信号を処理する事によって、重ね合わせずれ量を測定する重ね合わせ測定方法において、前記照明光を、前記マークに対して複数の任意な角度で照射し、それぞれの角度での前記マークの画像を取り込む工程と、取り込まれたそれぞれの画像信号を処理する事によって、重ね合わせずれ量を求める工程を有する事を特徴とする重ね合わせ測定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (2件)：

H01L 21/30 520 A ,  G03F 9/00 H

Fターム (5件)：

5F046EA12 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FA20 ,  5F046FC04