欠陥検査方法および欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012793
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211668
出願日： 1998年01月26日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】欠陥の検出感度や精度を向上するとともに、欠陥に関する定量的な詳細情報を得たり、欠陥の種類の同定を高い精度で行うことを目的とする。【解決手段】試料に入射したレーザビームによる散乱光・発光を結像させる欠陥検査方法において、上記散乱光・発光を複数の異なる波長帯に分割してそれぞれ撮像し、得られた複数の映像から欠陥の内容を識別するようにした。また、試料に入射したレーザビームの欠陥による散乱光・発光を結像させる欠陥検査装置において、単一の対物レンズ系に入射した散乱光・発光を複数の異なる波長帯ごとに分割して撮像し、得られた複数の映像をそれぞれ異なる色として合成して表示するようにした。

請求項（抜粋）：

被試験試料に入射したレーザビームによる散乱光・発光を結像させる欠陥検査方法において、上記散乱光・発光を複数の異なる波長帯に分割してそれぞれ撮像し、得られた複数の映像から欠陥の内容を識別することを特徴とする欠陥検査方法。

引用特許：

審査官引用 (12件)

試料の内部欠陥評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-172184 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭61-086637
特開平1-176932

全件表示

前のページに戻る