特許
J-GLOBAL ID：200903004942044381
薄膜の膜種判定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170174
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027729
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】PVD法で成膜された薄膜の膜種を容易に判定できる方法を確立する。【構成】薄膜に取り込まれた雰囲気元素の量に関連した物理量を測定し、予め作成された検量値との比較により薄膜の膜種を判定する。薄膜を構成する原子の格子間隔と取り込まれた雰囲気元素の量とは相関関係があり、かつ格子間隔は各薄膜固有のものであるので、取り込まれた雰囲気元素の量に関連する物理量を測定することで膜種を判定することができる。
請求項（抜粋）：
物理的薄膜形成法にて成膜された薄膜の膜種を判定する方法であって、該薄膜に取り込まれた雰囲気元素の量に関連した物理量を測定し、予め作成された検量値との比較により該薄膜の膜種を判定することを特徴とする薄膜の膜種判定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
