特許
J-GLOBAL ID：200903004942279265
磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-013822
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198793
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】【目的】 研磨効率が高く、加工むらの発生が少ない磁気研磨装置の磁気研磨ヘッドを得ること。【構成】 磁性及び研磨性を有する磁性砥粒17を、磁石11を有する磁気研磨ヘッド10で磁力保持して被研磨物を研磨する磁気研磨装置において、磁気研磨ヘッド10の先端の少なくとも一部に、磁気研磨ヘッドに吸着される磁性砥粒側に位置する弾性体15を設けた磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド。
請求項（抜粋）：
磁性及び研磨性を有する磁性砥粒を、磁石を有する磁気研磨ヘッドの磁力により吸引保持して被研磨物を研磨する磁気研磨装置において、上記磁気研磨ヘッドの先端の少なくとも一部に、該磁気研磨ヘッドに吸着される磁性砥粒側に位置する弾性体を設けたことを特徴とする磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド。
Fターム (5件)：
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA16
