特許
J-GLOBAL ID:200903004942314699

ゲッタ装置、およびこれを用いる真空容器および画像表示装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-171110
公開番号(公開出願番号):特開平10-021859
出願日: 1996年07月01日
公開日(公表日): 1998年01月23日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、ゲッタ装置が自立し、基板等に無接着で固定できる構造で、簡易にゲッタを設置することが可能である新規な構成のゲッタ装置を提供し、真空容器、画像表示装置の製造工程において、作製の簡略化、生産性向上、歩留まり向上、熱工程の減数による素子劣化の低減することを目的とする。【解決手段】 真空容器内にゲッタ材を飛散させるゲッタ装置であって、該ゲッタ装置が、ゲッタ材を収納するゲッタコンテナと該ゲッタコンテナを保持する変形構造部材および非変形構造部材で構成されるか、またはゲッタコンテナと変形構造部材とで構成される自立構造であり、該変形構造部材は、高さが真空容器内部の高さ以上であって、かつ弾性構造を有し、ゲッタ装置を真空容器内に配置したときに変形してゲッタ装置を所定位置に固定する無接着固定構造であることを特徴とするゲッタ装置。
請求項(抜粋):
真空容器内にゲッタ材を飛散させるゲッタ装置であって、該ゲッタ装置が、ゲッタ材を収納するゲッタコンテナと該ゲッタコンテナを保持する変形構造部材および非変形構造部材で構成されるか、またはゲッタコンテナと変形構造部材とで構成される自立構造であり、該変形構造部材は、高さが真空容器内部の高さ以上であって、かつ弾性構造を有し、ゲッタ装置を真空容器内に配置したときに変形してゲッタ装置を所定位置に固定する無接着固定構造であることを特徴とするゲッタ装置。
IPC (2件):
H01J 29/94 ,  H01J 31/12
FI (2件):
H01J 29/94 ,  H01J 31/12 C

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