特許

J-GLOBAL ID：200903004942449365

ECRマイクロ波放電イオン発生装置

発明者： 羽賀 浩一 ,  野口 雅弘
出願人/特許権者： 東北リコー株式会社 ,  羽賀 浩一
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-147145
公開番号（公開出願番号）：特開2001-326097
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 導波管から空洞共振器内へのマイクロ波の導入を促進して導入の効率を良くし、大型の水冷機構を不要として装置全体の小型化を図る。【解決手段】 マグネトロン1で発生したマイクロ波が伝送される導波管2の長手方向と直交する方向の側面部に空洞共振器3が接続され、導波管2と空洞共振器3との接続部分に導波管2から空洞共振器3内へのマイクロ波の導入を促進させるマイクロ波導入促進部4が設けられている。導波管2から空洞共振器3内へ導入されるマイクロ波は、マイクロ波導入促進部4により導入を促進され、この導入時に発生するマイクロ波の損失及びその損失による発熱が低減される。このため、その発熱による過熱を防止するための大型の水冷機構が不要となり、ECRマイクロ波放電イオン発生装置全体の小型化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

マグネトロンで発生したマイクロ波を導波管内を伝送させて磁界が形成されている空洞共振器内へ導入し、前記空洞共振器内へ供給された原料ガスを分解してイオンを発生させるECRマイクロ波放電イオン発生装置において、前記導波管の長手方向と直交する方向の側面部に前記空洞共振器が接続され、前記導波管と前記空洞共振器との接続部分に前記導波管から前記空洞共振器内へのマイクロ波の導入を促進させるマイクロ波導入促進部が設けられていることを特徴とするECRマイクロ波放電イオン発生装置。