真空排気方法および真空排気装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032594
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230483
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】排気管の途中に熱交換器を有し、気体を冷却して凍結、捕集することにより真空排気の速度を高めるようにした真空排気装置は、凍結捕集した気体の放出のため、バルブの開閉、熱交換器の加熱など、操作の複雑な切替え手順を必要とし、排気作業に長時間が必要であった。【解決手段】排気管21の途中に熱交換器2を設け、この熱交換器2に冷媒を供給するコンプレッサユニット31のなかに、コンプレッサ12によって圧縮された高温の冷媒ガスを直接熱交換器2へと流すホットガス供給配管22とホットガスバイパス弁11とを設け、排気管21を締め切らず、且つ、コンプレッサ12を停止することなく熱交換器2を加熱できるようにして排気作業を簡素化した。

請求項１：

排気管内の気体を排気手段を用いて排出する手順と、前記排気管内の気体を熱交換器で冷却して凍結、捕集する手順とを含んだ真空排気方法であって、前記排気手段の運転を継続しながら、前記熱交換器に冷媒を供給するコンプレッサユニットの配管を切り換えて、圧縮された高温の冷媒ガスを直接前記熱交換器に流す手順を含むことを特徴とする真空排気方法。

Fターム (6件)：

3H076AA21 , 3H076BB24 , 3H076BB43 , 3H076CC41 , 3H076CC51 , 3H076CC94

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