特許

J-GLOBAL ID：200903004963443758

シリコン単結晶引上げ装置の分割した保温筒

発明者： 本橋義時
出願人/特許権者： 日本カーボン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353295
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167890
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 シリコン単結晶引上げ装置において、炭素繊維強化炭素(C/C)製保温筒を得率よく、より低コスト化できるよう構成した装置を提供する。【解決手段】 CZ法によるシリコン単結晶を引上げる装置において、ヒーター外周に設けられる保温筒の内周材を上下方向に複数個に分割したC/Cで構成し、消耗箇所の内周部を部分的に交換できるように構成したシリコン単結晶引き上げ装置の分割した保温筒。

請求項（抜粋）：

CZ法によるシリコン単結晶を引き上げる装置において、ヒーター外周に設けられる保温筒の内周材を上下方向に複数個に分割した炭素繊維強化炭素材で構成し、消耗箇所の内周部を部分的に交換できるように構成したことを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置の分割した保温筒。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 ,  C30B 15/00

FI (2件)：

C30B 29/06 502 C ,  C30B 15/00 Z