特許
J-GLOBAL ID：200903004970094793
吸着用チャック装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-097499
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266242
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 チャック本体によって、厚さに対し充分広い面積を有するウェーハを吸着時に、前記被吸着体の自重によるたわみを補正することを特徴とする吸着用チャック装置を提供すること。【解決手段】 チャック本体1Aにウェーハ2に対向して設けられ、該ウェーハ2と当接する吸着面5Aを有する受部4Aを備え、前記ウェーハ2を前記吸着面5Aに吸着する吸着用チャック装置において、前記チャック本体1Aが、ウェーハ2を吸着時にウェーハ2と非接触となる底面1Acを有する凹部11Aと、該凹部内に流体を導入する流体導入手段6A、7Aとを設け、前記凹部内に導入された流体12Aにより、前記凹部の底面側へのウェーハ2の自重によるたわみを補正する。
請求項（抜粋）：
上面に吸着面を有する受部をチャック本体に設け、薄い被吸着体を前記吸着面に吸着保持する吸着用チャック装置において、前記受部間に前記被吸着体を吸着時に前記被吸着体と非接触となる底部を有する凹部と、該凹部内に流体を導入する流体導入手段とを備え、前記凹部内に導入された流体により、前記底面側への前記被吸着体の自重によるたわみを補正することを特徴とする吸着用チャック装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 P
, B23Q 3/15 D
