パターンマッチング方法およびプログラム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康 , 箱崎幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-307285
公開番号（公開出願番号）：特開2006-119927
出願日： 2004年10月21日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：

【課題】基準データに対する形状の差異が大きいパターンでも位置合せの精度を高める。【解決手段】パターン画像および基準データからパターンエッジを検出し、各パターンエッジを分割して第1および第2のセグメント群を生成し、これらのセグメント群の間でセグメント対を生成し、そのうち2組のセグメント対を任意に取り出して、その適合度を算出し、得られた適合度から上記2組のセグメント対におけるセグメントの組み合わせの無矛盾度を算出し、条件を満たさない組み合わせのセグメント対を除去する操作を反復して最適の組み合わせを決定し、各組み合わせを構成するセグメント間で移動ベクトルの特徴量を算出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

パターンを撮像して得られたパターン画像から前記パターンのエッジを検出する手順と、検出されたパターンエッジを分割して、第1のセグメントでなる第1のセグメント群を生成する手順と、前記パターンの評価基準となる基準データ上のパターンエッジを分割し、第2のセグメントでなる第2のセグメント群を生成する手順と、前記第1のセグメント群と前記第2のセグメント群との間で、セグメントを任意に組み合わせ、第1および第2のセグメントで構成されるセグメント対を規定するセグメント対生成手順と、規定されたセグメント対について2組のセグメント対毎にその適合度を算出する適合度算出手順と、得られた適合度に基づいて、規定されたセグメント対の無矛盾度を算出し、算出された無矛盾度の低いセグメント対を除去することにより新たにグメント対を規定する絞り込み手順と、前記適合度算出手順および前記絞り込み手順を反復的に行うことで最適な組み合わせのセグメント対を決定する手順と、前記最適な組み合わせのセグメント対について、対をなす第1および第2セグメント同士を結ぶ移動ベクトルの特徴量を計算する手順と、得られた移動ベクトルの特徴量から、前記パターン画像と前記基準データとの位置合わせを行う手順と、を備えるパターンマッチング方法。

IPC (4件)：

G06T 7/00 , G06T 1/00 , G06T 7/60 , H01L 21/027

FI (4件)：

G06T7/00 300E , G06T1/00 305C , G06T7/60 250A , H01L21/30 502V

Fターム (40件)：

5B057AA03 , 5B057BA01 , 5B057BA29 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB06 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CE03 , 5B057CE12 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC14 , 5B057DC16 , 5B057DC33 , 5L096BA03 , 5L096BA18 , 5L096EA14 , 5L096EA25 , 5L096EA37 , 5L096EA43 , 5L096FA03 , 5L096FA04 , 5L096FA06 , 5L096FA09 , 5L096FA18 , 5L096FA32 , 5L096FA66 , 5L096FA67 , 5L096GA34 , 5L096GA51 , 5L096GA55 , 5L096GA59 , 5L096JA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-132668 出願人：株式会社日立製作所

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