特許
J-GLOBAL ID:200903004975254187

光学式研磨量測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-143112
公開番号(公開出願番号):特開平10-030914
出願日: 1996年06月05日
公開日(公表日): 1998年02月03日
要約:
【要約】【課題】研磨の最中の研磨対象物の研磨量を高精度に測定できる光学式研磨量測定装置を提供する。【解決手段】研磨量測定装置は、研磨対象物と共に研磨されるモニター用光学部材と、モニター用光学部材に光を照射し、その上面からの反射光と下面からの反射光に基づいて、モニター用光学部材の研磨量を測定する測定光学系とを有している。研磨量測定装置は、更に、モニター用光学部材150の上面に設けられたアパーチャ170を有している。アパーチャ170は、円形の透光部172たとえば開口を中央に有する遮光板174で構成され、モニター用光学部材150に入射する測定光の断面形状を制御する。
請求項(抜粋):
研磨手段により研磨されている最中の研磨対象物の研磨量を光学的に測定する光学式研磨量測定装置であり、研磨対象物と同等に研磨されるモニター用光学部材と、モニター用光学部材の研磨量を光学的に測定する測定部とを備えており、モニター用光学部材は互いに平行な端面である第一面と第二面を有し、第二面は研磨手段に接しており、第一面に対する第二面の相対的な位置はモニター用光学部材が研磨されることにより第一面に近づく方向に移動し、測定部は、測定光を射出する光源手段と、測定光をモニター用光学部材を介して研磨手段に照射する手段と、モニター用光学部材の第一面からの反射光と第二面からの反射光を受光する受光部とを有し、受光部は、第一面からの反射光と第二面からの反射光の干渉に基づいて、モニター用光学部材が研磨されたために生じた第一面に対する第二面の相対的な移動量を測定し、光学式研磨量測定装置は、モニター用光学部材に入射する測定光の断面形状を制御するアパーチャ手段を更に備えている、光学式研磨量測定装置。
IPC (2件):
G01B 11/02 ,  G01M 11/00
FI (2件):
G01B 11/02 Z ,  G01M 11/00 T

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