特許
J-GLOBAL ID：200903004984101326
ワイヤボンディング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305139
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213421
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【課題】 ヘッド部駆動時のエネルギー損失が小さく構造の単純なワイヤボンディング装置を提供すること。【解決手段】 本ワイヤボンディング装置は、フレームと、フレームに設置されステータとインダクタとを有するリニアステッピングモータからなるX-Yテーブルと、X-Yテーブルの上面に回動可能に設けられ一方の端部にキャピラリが設けられたトランスデューサと、トランスデューサの他方の端部を昇降させることにより前記キャピラリを昇降させる第1昇降手段と、第1昇降手段の前面にX-Yテーブル上に設けられてボンディング時にキャピラリを昇降させる第2昇降手段と、フレームとX-Yテーブルに設けられてX、Y方向の移動量を検出する第1位置検出手段とを具備してなる。
請求項（抜粋）：
フレームと、前記フレームに設置され、第1ステータとX、Y方向に移動可能な第1インダクタとを有するリニアステッピングモータよりなるX-Yテーブルと、前記X-Yテーブルの上面に回動可能に取り付けられ、一方の端部(第1端部)にボンディングワイヤを保持するためのキャピラリの設けられたトランスデューサと、前記キャピラリを昇降させるべく前記トランスデューサの他方の端部(第2端部)に近接して前記フレームに設けられた第1昇降手段と、前記第1昇降手段から前記トランスデューサの前記第1端部の方に離隔されて前記X-Yテーブルに配置され、ボンディング時に前記トランスデューサの前記第1端部に設けられた前記キャピラリを昇降させる第2昇降手段と、前記フレームと前記X-Yテーブルに設けられて前記X、Y方向への移動量を検出する第1位置検出手段とを具備してなることを特徴とするワイヤボンディング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 301
, H01L 21/60
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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