特許

J-GLOBAL ID：200903004985701157

電気再生式イオン交換装置を有する超々純水製造装置

発明者： 永井 弘 ,  河津 秀雄 ,  中津 正人
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  荏原インフィルコ株式会社 ,  株式会社荏原総合研究所
代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-233980
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 イオン交換樹脂の寿命を延ばし、ランニングコストの削減、廃棄物発生が減少できる超々純水製造装置を提供する。【構成】 超純水を受け入れて超々純水まで精製する超々純水の製造装置において、(a)超純水の一部11を接液側に通水し、接ガス側に水素12を供給する手段を有する気体透過膜2と、(b)超純水の残部1と(a)の処理水を併せて処理する紫外線照射装置3と、(c)(b)の処理水を脱気する水素脱気膜4と、(d)(c)の処理水を脱塩処理する電気再生式イオン交換装置5と、(e)(d)の処理水を更に処理するイオン交換樹脂装置6と、(f)(c)の処理水を限外ろ過する限外ろ過装置7、とを有し、前記(a)から(f)の各装置を順次配管で接続する。

請求項（抜粋）：

超純水を受け入れて超々純水まで精製する超々純水の製造装置において、(a)超純水の一部を接液側に通水し、接ガス側に水素を供給する手段を有する気体透過膜と、(b)超純水の残部と(a)の処理水を併せて処理する紫外線照射装置と、(c)(b)の処理水を脱気する水素脱気膜と、(d)(c)の処理水を脱塩処理する電気再生式イオン交換装置と、(e)(d)の処理水を更に処理するイオン交換樹脂装置と、(f)(c)の処理水を限外ろ過する限外ろ過装置、とを有し、前記(a)から(f)の各装置を順次配管で接続したことを特徴とする超々純水製造装置。

IPC (8件)：

C02F 1/42 ,  B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  C02F 1/20 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/70 ,  C02F 9/00