特許
J-GLOBAL ID：200903004988542246
試料の洗浄方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099202
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306660
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【構成】 反応性薬液の蒸気と前記反応性薬液を希釈する希釈用溶媒の蒸気とを用いて試料上の不要物を除去する試料の洗浄方法において、前記希釈用溶媒としてアルコールを用いる試料の洗浄方法。【効果】 パーティクルの発生を伴わずに、除去対象物を均一に、しかも選択性よく除去することができる。
請求項（抜粋）：
反応性薬液の蒸気と前記反応性薬液を希釈する希釈用溶媒の蒸気とを用いて試料上の不要物を除去する試料の洗浄方法において、前記希釈用溶媒としてアルコールを用いることを特徴とする試料の洗浄方法。
IPC (3件)：
C23G 5/032
, H01L 21/302
, H01L 21/306
