特許
J-GLOBAL ID：200903004991870971
静電容量式圧力センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230990
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094471
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 静電容量式圧力センサの小型化・高性能化をはかる。【構成】 表面に第一の電極4が形成された絶縁性の固定基板1と、表面に第二の電極5が形成されたガラスからなるダイアフラム2とを備えている。また、第一の電極4と第二の電極5とが対向して配置され固定基板1とダイアフラム2とは一体接合されている。これによって固定基板1とダイアフラム2とは極めて強固に接着され剥離することはない。
請求項（抜粋）：
表面に第一の電極が形成された絶縁性の固定基板と、表面に第二の電極が形成されたガラスからなるダイアフラムとを備え、前記第一の電極と前記第二の電極とはギャップ部を介して対向配置し前記固定基板と前記ダイアフラムとを一体接合した静電容量式圧力センサ。
IPC (2件)：
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