特許

J-GLOBAL ID：200903004998128162

角速度センサー

発明者： ピーター・エドワード・マイケル・フレア ,  ラッセル・ウィリアム・クラドック
出願人/特許権者： ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156337
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034649
出願日： 1993年06月03日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 角速度センサーとその製造方法を提供する。【構成】 角速度センサーは組合された歯(14、16)と共に先端(5、6)を構成するためにエッチングしたシリコンウエハ(10)を備える。上記先端(5、6)を先端(5、6)間に静電力をつくりだす上で好適な駆動信号を付与することによってウエハ(10)面内で励起振動させる。先端(5、6)のウエハ面からの回転は、先端(5、6)のサポート(18)上の、例えば、圧抵抗器のような好適な検出器により検出される。

請求項（抜粋）：

第1と第2の組合せ先端を構成するためにエッチングしたシリコンウエハと、前記第1と第2の先端をウエハと共面内でかつ互いに逆相の振動に励起する手段と、前記第1と第2の先端のウエハ面からの回転を検出する検出手段と、から成る角速度センサー。

IPC (2件)：

G01P 9/04 ,  G01C 19/56