ステージ装置およびリニアモータ、ならびに前記ステージ装置を用いた露光装置およびデバイス生産方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196924
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167792
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】小型軽量かつ安価なステージ装置を提供する。【解決手段】ステージを所定の方向に移動させるステージ装置において、前記移動方向に沿って配置されたステージ加減速用推力発生手段9と、これらの推力発生手段と並列に設けられたステージ速度制御用推力発生手段8と、前記加減速用推力発生手段のうちステージ加速区間に位置する部分にステージ加速用推力を発生させる加速手段29a,Sと、前記加減速用推力発生手段のうちステージ減速区間に位置する部分にステージ減速用推力を発生させる減速手段29b,Sと、少なくとも前記加速区間と減速区間との間において前記速度制御用推力発生手段によるステージ推力を制御する速度制御手段28を設ける。

請求項（抜粋）：

所定の方向に移動可能なステージと、該移動方向に沿って配置されたステージ加減速用推力発生手段と、該推力発生手段と並列に設けられたステージ速度制御用推力発生手段と、前記加減速用推力発生手段のうちステージ加速区間に位置する部分でステージ加速用推力を発生させる加速手段と、前記加減速用推力発生手段のうちステージ減速区間に位置する部分でステージ減速用推力を発生させる減速手段と、少なくとも前記加速区間と減速区間との間の所定範囲において前記速度制御用推力発生手段によるステージ推力を制御する速度制御手段とを具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 5/28 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 K , B23Q 5/28 B , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 515 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-270654 出願人：株式会社ニコン

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