特許

J-GLOBAL ID：200903005022929884

ウェハおよび圧電素子

発明者： ピサレフスキー ユーリー ウラジーミロビッチ ,  ミル ボリス ヴェニアミノビッチ ,  セニュシチエンコフ ピョートル アレクサンドロビッチ
出願人/特許権者： 株式会社サンテック ,  タワリシチェストボ ス オグラニチョンノイ オトベットストベンノスチユ ナウチノコメルチェスカヤ フィルマ “バンチ”
代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218189
公開番号（公開出願番号）：特開平11-055064
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 高い電気機械結合係数と高い温度安定性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】 ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶をYX1b/α/βカットで切り出したウェハ1であって、ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶の結晶軸をそれぞれX軸(電気軸),Y軸(機械軸),Z軸(光学軸)とするとき、前記ウェハは、YZ面内におけるZ軸からの角度αが反時計回りに-15 ゚≦α≦+25 ゚をなし、また、XZ面内におけるX軸からの角度βが反時計回りに-10 ゚≦β≦+10 ゚をなすように、切り出されている。

請求項（抜粋）：

ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶をYX1b/α/βカットで切り出したウェハであって、ランタン・ガリウム・ニオブ酸塩結晶の結晶軸をそれぞれX軸(電気軸),Y軸(機械軸),Z軸(光学軸)とするとき、前記ウェハは、YZ面内におけるZ軸からの角度αが反時計回りに-15 ゚≦α≦+25 ゚をなし、また、XZ面内におけるX軸からの角度βが反時計回りに-10 ゚≦β≦+10 ゚をなすように、切り出されていることを特徴とするウェハ。

IPC (4件)：

H03H 9/17 ,  C30B 29/30 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/25

FI (4件)：

H03H 9/17 G ,  C30B 29/30 A ,  H03H 9/25 C ,  H01L 41/08 C