特許
J-GLOBAL ID：200903005025090699
品質管理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035084
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244694
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体製造工程及び精密電子機器製造工程等における品質管理を行なう品質管理装置に関し、均一な検出力での品質管理が容易に行なえる品質管理装置を提供することを目的とする。【構成】 入力部12により入力されデータファイル部16に保持された品質特性値を計算部18で群及びパッセージ毎に分け、群毎に平均値(1)を算出し、その平均値より総平均(2)を算出し、中心値とする。また、群毎の平均値(3)よりパッセージ毎の標準偏差を算出し、パッセージ毎の標準偏差の平均値を算出する。さらにパッセージ毎の標準偏差の平均値に基づいて群毎の平均値の変動(バラツキ)を算出し、算出した変動及び中心値に基づいて管理の上下限値を求める。
請求項（抜粋）：
管理対象の品質に応じた品質特性値を入力する入力手段(1)と、前記入力手段(1)から入力された前記品質特性値を群に分け、前記品質特性値を群毎に処理しつつ、前記品質特性値の群への分け方によらず均一な検出力の品質限界値を算出する算出手段(2)と、前記算出手段(2)で算出された前記品質限界値を出力する出力手段(3)とを有する品質管理装置。
IPC (2件)：
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