特許
J-GLOBAL ID：200903005034069252
キャリヤライフタイム測定法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278061
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130810
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【構成】 励起光源5をYAGレーザを用いた連続光源とし、それからの励起光6をシャッタ7、レンズ8を通してSiの半導体基板15に対し、該半導体基板の過剰少数キャリヤ寿命より長い時間照射して、ほぼ均一な過剰少数キャリヤ分布を発生させ、次に、シャッタ7により、前記半導体基板15の少数キャリヤ寿命より短い時間で励起光6を遮断し、この間の少数キャリヤ濃度の変動を、マイクロ波を用いた光生成キャリヤ減衰測定装置で測定する。【効果】 半導体基板の少数キャリヤ寿命が正確に測定できる。
請求項（抜粋）：
半導体材料の少数キャリヤライフタイムの測定において、連続光源とシャッタの組み合わせ、又は発光停止機能をもった連続光源を励起光源に用いることを特徴とするキャリヤライフタイム測定法。
引用特許：
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