特許

J-GLOBAL ID：200903005039363779

ウエハー加熱装置

発明者： 温井 健司
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172032
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021420
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】 ウエハー加熱装置に関し,マイクロ波を用いてウエハーを均一に加熱するウエハー加熱装置の提供を目的とする。【構成】 マイクロ波発振器1と, マイクロ波発振器1から出射するマイクロ波を導く導波管4と, 導波管4から出射するマイクロ波を分散させる凹レンズ5を有し, ウエハー6をその主面に垂直な中心線が凹レンズ5の光軸と一致するように配置して,ウエハー6に凹レンズ5を透過したマイクロ波を入射するウエハー加熱装置により構成する。また,前記凹レンズ5が石英からなるウエハー加熱装置により構成する。

請求項（抜粋）：

マイクロ波発振器(1) と, 該マイクロ波発振器(1) から出射するマイクロ波を導く導波管(4) と, 該導波管(4) から出射するマイクロ波を分散させる凹レンズ(5) を有し,ウエハー(6) をその主面に垂直な中心線が該凹レンズ(5) の光軸と一致するように配置して,該ウエハー(6) に該凹レンズ(5) を透過したマイクロ波を入射することを特徴とするウエハー加熱装置。

IPC (6件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/46 ,  F26B 23/08 ,  H01L 21/22 ,  H01P 3/08 ,  H05H 1/46