特許
J-GLOBAL ID：200903005039840798
インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド用振動板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218169
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058680
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 ピンホールの発生によるヘッドの信頼性が低下する。【解決手段】 振動板12のダイアフラム部11は2枚の金属薄膜11a,11bからなる複層構造にし、金属薄膜11b上に島状凸部12aを形成している。
請求項（抜粋）：
アクチュエータ素子と液室との間に振動板を介在させたインクジェットヘッドにおいて、前記振動板のダイアフラム部は金属薄膜からなる複層構造をなすことを特徴とするインクジェットヘッド用振動板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 D
, B41J 3/04 103 H
