特許

J-GLOBAL ID：200903005047772076

流体圧制御用ダイヤフラム

発明者： 山田 博介 ,  海老沢 聡 ,  工藤 崇
出願人/特許権者： エスエムシー株式会社
代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334121
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169802
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】薬液等による流体圧を受圧してもクリープを発生させることがなく、しかも、応答感度を劣化させることなく高い耐圧性を得ることにある。【解決手段】流体圧制御用ダイヤフラム48は、別個独立に形成され、基布入りのゴム製ダイヤフラムからなる上部側の第1薄膜体58と、フッ素樹脂の樹脂製ダイヤフラムからなる下部側の第2薄膜体60とが重ね合わされて構成される。

請求項（抜粋）：

圧力流体の受圧作用下に可撓性を有する流体圧制御用ダイヤフラムであって、第1薄膜体と、前記第1薄膜体と別体且つ異質の材料によって形成され、該第1薄膜体と重ね合わされる第2薄膜体と、からなることを特徴とする流体圧制御用ダイヤフラム。

IPC (2件)：

F16K 7/12 ,  G05D 16/06

FI (2件)：

F16K 7/12 A ,  G05D 16/06 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧力調整装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-323156   出願人：日本電装株式会社, 京三電機株式会社