特許

J-GLOBAL ID：200903005053807566

透過及び反射を利用した被測定物の光学特性の決定

発明者： ラルフ・ストルテ ,  パトリク・ジーグラー
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-217098
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130759
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】光ビームの透過方向及び反射方向の両方向の測定を利用してDUTの光学特性をより容易に決定することが可能な手段を提供する。【解決手段】本発明は、光ビームの透過及び反射を利用して測定対象デバイス(DUT)の光学特性、例えば、偏光依存性損失(PDL)、偏光モード分散(PMD)、群遅延時間差(DGD)、挿入損失、反射減衰量及び/または色分散(CD)を決定することに関連する。本発明は、少なくとも部分的に透過性で、かつ、少なくとも部分的に反射性であるエレメント(要素)を開示する。

請求項（抜粋）：

測定装置(400、500)に反射の基準信号を加えて、光ビーム(22、80)の透過及び反射における(または透過及び反射を利用して)被測定物(6)の光学特性を決定するための素子(12)であって、少なくとも部分的に透過性で、少なくとも部分的に反射性であることからなる、素子。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/59

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 21/59 Z

Fターム (16件)：

2G059AA02 ,  2G059BB20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ04 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G086KK01 ,  2G086KK07