特許

J-GLOBAL ID：200903005067998828

物体形状計測装置

発明者： 早川 健 ,  横山 敦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350494
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171219
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】対象物体にスリット光を走査する発光走査部側の構造を工夫して、当該装置の薄型化かつ小型化を図れるようにする。【解決手段】基準面から任意の対象物体30までの3次元高さ形状を測定する装置であって、対象物体30に照射するための被測定光を発生する面光源6と、この面光源6による被測定光をスリット光L0に整形して対象物体30に走査する液晶シャッタ17と、対象物体30からの戻り光L0’を各画素毎に検出する受光部12にシリコンレンジファインダを備えるものである。

請求項（抜粋）：

任意の基準面から物体までの3次元高さ形状を測定する装置であって、前記物体に照射するための被測定光を発生する光源と、前記光源による被測定光をスリット光に整形して前記物体に走査する走査手段と、前記物体からの戻り光を各画素毎に検出する光検出手段とを備えることを特徴とする物体形状計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/02

FI (2件)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/02 H

Fターム (29件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065DD02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065GG18 ,  2F065GG22 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL47 ,  2F065MM11 ,  2F065NN16 ,  2F065PP05 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ26 ,  2F065SS13 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2F065UU07