特許
J-GLOBAL ID：200903005073222653
磁気記録媒体形成用タ-ゲット並びに薄膜磁気記録媒体とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今井 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-306444
公開番号（公開出願番号）：特開平9-125238
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【目的】 Pt等の高価な材料を用いることなしに十分高い保磁力を示し、かつ磁気ヘッド浮上量,記録再生ノイズの低いCo系合金磁気記録媒体を提供する。【構成】 磁気記録媒体形成用Co系合金タ-ゲットを、Ni:10〜30%、 Cr:5超〜20%、 B:0.01〜 5.0%、 Ti,Zr,Hf,V及びNbの1種以上:合計で0.01〜10%を含み、残部がCo及び不可避的不純物から成る化学組成に構成する。また、該タ-ゲットを用い、基板温度を150〜290°Cとしてスパッタリングすることにより、タ-ゲットと同様の化学組成で、かつ結晶粒界に Ti,Zr,Hf,V及びNbの1種以上のほう化物が析出した合金、あるいは更にその結晶粒径が500Å以下の合金から成る磁気記録媒体を得る。
請求項（抜粋）：
重量割合にてNi:10〜30%、 Cr:5超〜20%、 B:0.01〜 5.0%、Ti,Zr,Hf,V及びNbから選ばれた1種以上:合計で0.01〜10%を含むと共に、残部がCo及び不可避的不純物から成ることを特徴とする磁気記録媒体形成用合金タ-ゲット。
IPC (5件)：
C23C 14/34
, G11B 5/66
, G11B 5/85
, H01F 10/16
, H01F 41/18
C23C 14/34 A
, G11B 5/66
, G11B 5/85 C
, H01F 10/16
, H01F 41/18
