特許

J-GLOBAL ID：200903005076184582

テープ搬送機構を有する装置

発明者： 伊藤 治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-053665
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256278
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 テープの位置決めが高精度にでき、しかもその位置決め操作の際にテープに悪影響を与えることを防止できるテープ搬送機構を有する装置を提供する。【解決手段】 テープ1をクランプする上左クランパ5、下左クランパ6、上右クランパ7、下右クランパ8を有し、それらのクランパ5〜8を使用して、テープ1のX方向およびY方向の位置決めを行うことができる位置決め機構部3を備えているものである。

請求項（抜粋）：

テープをクランプするためのクランパを有し、前記クランパを使用して、前記テープのX方向およびY方向の位置決めを行うことができる位置決め機構部を備えていることを特徴とするテープ搬送機構を有する装置。

IPC (3件)：

H01L 21/50 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60

FI (3件)：

H01L 21/50 C ,  H01L 21/60 311 T ,  H01L 21/60 311 W