特許
J-GLOBAL ID：200903005077279455
感光性重合体組成物及びそれを用いたレリ-フパターンの製造法、電子部品。
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-128212
公開番号（公開出願番号）：特開2005-309215
出願日： 2004年04月23日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 金属塩の生成を抑制し、金属層の防錆効果、イオンマイグレーション防止効果、基板との接着性向上等を示す感光性重合体組成物及びそれを用いたレリ-フパタ-ンの製造法、電子部品を提供する。 【解決手段】 (a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び(c)環状化合物を含有してなる感光性重合体組成物。前記感光性重合体組成物を支持基板上に塗布し乾燥する工程、露光する工程、現像する工程、加熱処理する工程を含むレリ-フパターンの製造法及び電子部品。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び(c)環状化合物を含有してなる感光性重合体組成物。
IPC (4件)：
G03F7/004
, G03F7/023
, G03F7/037
, H01L21/027
G03F7/004 501
, G03F7/023
, G03F7/037 501
, H01L21/30 502R
2H025AA00
, 2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB25
, 2H025CC20
, 2H025FA17
